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MEMS器件最常見(jiàn)的四大分類

時(shí)間:2019-01-30 13:53:57來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 作者:admin 點(diǎn)擊:
MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應(yīng)時(shí)間短。MEMS系統(tǒng)與一般的機(jī)械系統(tǒng)相比,不僅體積縮小,而且在力學(xué)原理和運(yùn)動(dòng)學(xué)原理,材料特性、加工、測(cè)量和控

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